HEPAフィルターの交換

次のいずれかの場合、HEPA フィルターを交換する必要があります。
表10-6 クリーンルームのクリーンエアモニタリング頻度

1. 風速が最小限に低下しています。一次エアフィルターと中間エアフィルターを交換しても、風量を上げることができません。
2. HEPAエアフィルターの抵抗は初期抵抗の1.5倍～2倍に達します。
3. HEPAエアフィルターに修理不可能な漏れがあります。

6. エンドフィルタ交換後の総合性能試験空調システム内の熱・湿度処理装置とファンを清掃した後、システムファンを起動して浄化システムを稼働させ、総合性能試験を実施します。テストの主な内容は次のとおりです。
1) システム吐出量、還気量、外気量、排気量の決定
送風量、戻り風量、外気量、排気量はファンの吸気口またはダクトの風量測定孔で測定され、関連する調整機構が調整されます。
測定に使用される計測機器としては、一般的にサブ管理およびマイクロ圧力計、またはインペラ風速計、ホットボール風速計などがあります。

2) クリーンルーム内の気流速度と均一性の測定
一方向フロークリーンルームおよび垂直一方向フロークリーンルームは、高効率フィルターの下10cm（米国規格では30cm）の位置、作業エリアの床面から80cmの高さの水平面で測定されます。測定点間の距離は2m以上、測定点の数は10点以上です。
非一方向流クリーンルーム（乱流クリーンルーム）における気流速度は、一般的に給気口から10cm下方の風速で測定されます。測定点の数は、給気口の大きさに応じて適切に配置できます（一般的に1～5点）。

6. エンドフィルター交換後の総合性能試験空調システム内の温湿度処理装置とファンを清掃した後、システムファンを起動して浄化システムを稼働させ、総合性能試験を実施します。試験の主な内容は以下のとおりです。
1) システム吐出量、還気量、外気量、排気量の決定
送風量、戻り風量、外気量、排気量はファンの吸気口またはダクトの風量測定孔で測定され、関連する調整機構が調整されます。
測定に使用される計測機器としては、一般的にサブ管理およびマイクロ圧力計、またはインペラ風速計、ホットボール風速計などがあります。

2) クリーンルーム内の気流速度と均一性の測定
一方向フロークリーンルームおよび垂直一方向フロークリーンルームは、高効率フィルターの下10cm（米国規格では30cm）の位置、作業エリアの床面から80cmの高さの水平面で測定されます。測定点間の距離は2m以上、測定点の数は10点以上です。
非一方向流クリーンルーム（乱流クリーンルーム）における気流速度は、一般的に給気口から10cm下方の風速で測定されます。測定点の数は、給気口の大きさに応じて適切に配置できます（一般的に1～5点）。

3) 室内空気温度と相対湿度の検出
（1）室内空気の温度および相対湿度を測定する前に、清浄空調システムを少なくとも24時間連続運転する必要があります。一定温度が求められる場所では、温度および相対湿度の変動範囲の要件に応じて、8時間以上の連続測定が必要です。測定間隔は30分以内です。
（２）温度と相対湿度の変動範囲に応じて、十分な精度を有する対応する測定器を選択して測定する必要があります。（３）屋内の測定点は、一般的に次の場所に配置されます。
a. 送風口、戻り口
b. 恒温作業エリアの代表的な場所
c. 部屋の中央
d. 敏感な部品

すべての測定点は、床面から0.8mの同一高さ、または恒温ゾーンの大きさに応じて、地面からの高さが異なる複数の平面に配置する必要があります。測定点は、外面から0.5m以上離れている必要があります。
4) 室内の気流パターンの検出
室内の気流パターンを検出する上で、クリーンルーム内の気流構成がクリーンルームの清浄度を満たしているかどうかを確認することは、実際には重要な課題です。クリーンルーム内の気流パターンが気流構成の要件を満たしていない場合、クリーンルーム内の清浄度も要件を満たさない、あるいは満たすことが困難になります。
クリーンな室内空気の流れは、一般的にトップダウン型です。検出時には、以下の2つの問題を解決する必要があります。
（１）測定点配置方法
（２）ライターや吊り下げたモノフィラメント糸などを用いて、気流の流れ方向を点ごとに観察・記録し、測定点を並べた断面図に気流の方向を印す。
（３）測定記録を前回の測定記録と比較し、室内の気流組織と一致しない、または矛盾する現象が見られる場合は、その原因を分析し、対処する必要がある。

5) 流線型の誤使用の検出（一方向流クリーンルームにおける流線の平行度の検出）
（1）給気面の気流方向を観測するには、1本のラインを使用することができます。通常、1つのフィルタが1つの観測点に対応します。
（2）角度測定装置は、指定された方向から遠ざかる気流の角度を測定する。この試験の目的は、作業エリア全体における気流の平行性とクリーンルーム内部の拡散性能を検証することである。使用する機器：等出力煙発生器、鉛直または水平器、巻尺、指示器、およびフレーム。

6) 室内静圧の測定と制御
7) 室内の清潔さの検査
8) 室内プランクトン細菌および堆積細菌の検出
9) 室内騒音の検出

1. エアフィルターの交換周期
浄化空調システムで使用される各レベルのエアフィルターは、それぞれの特定の条件に応じて、どのような状況で交換する必要があります。
1) 空気抵抗の初期抵抗の 2 倍になる可能性がある外気フィルター (プレフィルターまたは初期フィルター、粗フィルターとも呼ばれます) と中間空気フィルター (中空気フィルターとも呼ばれます) の交換を進める時間です。
2) エンドエアフィルターの交換（通常は、低効率エアフィルター、高効率エアフィルター、超効率エアフィルター）。
国家規格GBJ73-84では、風速を最低限に抑えることが規定されています。一次フィルターと中間フィルターを交換しても風速を上げることはできず、HEPAエアフィルターの抵抗は初期抵抗の2倍に達します。修理不可能な漏れがある場合は、フィルターを交換する必要があります。

2. エアフィルターの選択
一定期間エアコンをパージした後、システムで使用されているエアフィルターを交換する必要があります。フィルターの交換にあたっては、以下の点にご注意ください。
1) まず、元のフィルター モデル、仕様、パフォーマンス (メーカーも含む) と一致するエア フィルターを使用します。
2) 新しい型式や仕様のエアフィルターを採用する場合は、元の取付枠への取付可能性も考慮する必要があり、また、その場合の交換も考慮する必要がある。

3.エアフィルターの取り外しと浄化空調システムの配送、戻り空気ラインの清掃
浄化空調システムでは、元のエアフィルター（主に高効率エアフィルターまたは超高効率エアフィルターと呼ばれる）を取り外す前に、クリーンルーム内の機器をプラスチックフィルムで包み、カバーしてエアフィルターの端部を防いでください。解体・撤去後、エアダクトや静圧ボックスなどに蓄積された粉塵が落下し、機器や床面を汚染します。
システム内のエアフィルターを取り外した後、設置フレーム、エアコン、送風ダクト、戻り空気ダクトを慎重かつ徹底的に清掃する必要があります。
システム内のエアフィルターを取り外す際は、プライマリ（新気）フィルター、中効率フィルター、準高効率フィルター、高効率フィルター、超効率エアフィルターの順序に従うことをお勧めします。これにより、クリーンルームに入る粉塵の量を減らすことができます。
空調システムの末端にあるエアフィルターの交換は容易ではなく、交換サイクルも長いため、末端のエアフィルターを交換する際に、システム内の機器全体のオーバーホールを行うことを推奨します。

4. 微細な塵埃を除去する
システム内のエアフィルターを完全に取り外した後、システム内のファンを始動して、すべてのエアダクト（主に給気ダクト）とエンドフィルター設置フレーム、そしてクリーンルーム内の関連する表面に付着した微粒子を吹き飛ばします。微粒子は耐火性を有しています。

5. 最終段階（低効率、高効率、超効率）のエアフィルターの交換
浄化空調システムにおいて、クリーンルームの清浄度を確保する上で重要な役割を果たすのが、エンドフィルターと呼ばれる各階層へのエアフィルターの設置です。
クリーンルームのエンドフィルタには、一般的に高効率、超効率濾過、または低透過性フィルタが使用されています。これらのフィルタは、粉塵濾過効率が非常に高いため、目詰まりしやすいという欠点があります。一般的に、クリーンルームの操作では、室内作業とクリーンルームの清浄度との関係から、クリーンルーム内の主給気ダクトとクリーン空調システムの末端フィルタを取り外して交換することが不便な場合が多いです。装置の上部は、粒子濃度をクリーンルームの清浄度に必要な濃度まで下げるように設計されており、エンドフィルタの寿命を延ばすために、高効率または超高効率フィルタの前に中間フィルタを配置しています。